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    美國PIE等離子清洗機

    簡要描述:一、美國PIE等離子清洗機應用
    等離子清洗機清除樣品表面的污染物,去除光阻膠:產生表面活性功能組;
    清洗提高材料表面親水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;
    表面活化:渲染表面的親水性或疏水性,鍵合和沉積前的表面預處理
    表面聚合:沉積帶官能分子團的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;
    表面改性:在材料表面產生官能分子團,高分子材料表面修飾;
    去除表面殘留微生物,醫療器械的消毒和

    • 產品型號:Tergeo
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-16
    • 訪  問  量:3079

    詳細介紹

    二、美國PIE等離子清洗機的特點

    113.56MHz高頻射頻發生器;

    27英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;

    3、標配75W版本,可選150W版本;

    4、系統具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。

     

    三、美國PIE等離子清洗機技術參數

    1、控制系統

    1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

    2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟。

    2、反應腔體

    1)腔體材質:圓柱形石英玻璃艙;

    2)腔體容積:2.6L

    3)腔體尺寸:內徑:110毫米,深度:280毫米。

    3、射頻電源

    1)射頻頻率:13.56MHz

    2)射頻功率:標配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續可調,可選0~150W;。

    4、等離子源

    1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

    2)外置電極設計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

    5、氣體控制

    1)氣路控制:標配一路MFC;可選配三路MFC

    2)質量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量;

    3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

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