反應(yīng)離子刻蝕機PlasmaStar 100

腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁， 有幾種不同的電極設(shè)計，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極，用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極，用于小化離子損傷的下游電極，和用于普通的圓柱形籠式電極。

1、腔體尺寸：直徑≥200mm，深度≥280mm；

2、腔體材質(zhì)：硬質(zhì)陽極氧化鋁矩形腔體；

3、處理腔背面材質(zhì)：鋁；

4、處理腔門：要求全自動腔門；

5、兩路工藝氣體，≥2路質(zhì)量流量控制器控制氣體流量，氣體輸入腔室?guī)蛄髟O(shè)計；

6、射頻功率：0~600W連續(xù)可調(diào)，13.56MHz，自動匹配，自然風(fēng)冷；

7、配備RIE平面水冷平板電極；

8、7英寸及以上顯示器、觸摸屏、圖形用戶界面； 

9、程序控制：觸摸屏電腦控制，無線程序存儲；

10、Windows操作系統(tǒng)，兼容Windows office軟件，USB接口，可進行外部電腦遠程控制的功能；

11、狀態(tài)和出錯信息提示，過程數(shù)據(jù)和出錯信息存儲，可選擇自動和手動操作模式，過程數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出，工藝參數(shù)以圖形方式呈現(xiàn)，可實時監(jiān)控，自動實現(xiàn)泄露檢測；

12、配套緊急急停按鈕（EMO)，配套電路斷路器，機械聯(lián)鎖（門傳感器）和真空聯(lián)鎖（壓力開關(guān)），通過軟件可進行遠程的真空聯(lián)鎖；

13、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min；

14、典型工藝均勻性：≥±10%；