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    美國Tergeo-EM電鏡 等離子清洗機

    更新時間:2023-04-10      點擊次數:4042

    美國Tergeo系列臺式等離子清洗機為實驗室、研發和小規模生產部門提供性價比高的小型等離子清洗設備。Tergeo-EM等離子清洗機是為SEM / TEM樣品清洗應用而設計。它取代了標準Tergeo等離子清洗機中的石英窗,采用不銹鋼適配器,可放入兩個不同品牌的TEM樣品桿,可將SEM樣品架放置在內部石英板上進行清洗。


    特點:

    1)雙等離子源設計可滿足不同樣品的要求。 間接模式足夠溫和,可以處理3nm超薄多孔碳網格。 直接模式可以足夠強,可以去除超過幾微米厚的有機污染層。

    直接/浸入式清洗模式

    在樣品室中產生等離子體。將樣品浸入等離子體中,樣品與自由基和高能離子濺射發生化學反應。用于高速光刻膠灰化,蝕刻和樣品表面處理。

    遠程/下游式清洗模式

    在樣品室外產生等離子體。只有電中性的活性自由基(比如原子氧,原子氫)進入樣品室, 離子和電子只存在于樣品室以外的等離子源里面。因為樣品未浸入等離子體中,樣品表面僅和中性自由基發生溫和的化學反應。 沒有高能離子濺射!用于易損薄膜,如多孔碳TEM網格和熱敏復合材料,聚合物和生物樣品等。


    2)脈沖等離子技術可為極薄的多孔碳網生成極弱的等離子體,降低等離子體對樣品的損傷。

    脈沖模式操作可顯著降低精細樣品的平均等離子體強度。

    用戶可以通過改變射頻功率或射頻脈沖來調節等離子體強度。


    3)*的等離子體強度傳感器定量監測等離子體強度,用戶可以根據不同種類的樣品調整等離子體。


    4)直觀的操作,大型7英寸觸摸屏。 可從外部計算機操作。 可保存運行日志文件。 具有智能自診斷功能。


    5)可批量處理樣品。 石英腔:直徑110mm,深度280mm,帶有矩形石英樣品盤(100mmX250mm),可容納一批樣品。雙TEM桿適配器,可配置兩個不同品牌的TEM樣品桿。


    應用實例

    等離子體清洗前后的TEM樣品

     Ted-Pella 20nm純碳網格(01843)


    應用方案

    在材料測試中,樣品自身可將碳氫污染物引入SEM,FIB和TEM樣品室,長時間的電子束掃描會分解樣品室里面的潤滑油、真空油脂,造成碳氫污染,從而導致樣品表面形成黑色碳沉積。XPS數據顯示,在暴露在空氣中僅一小時后,干凈樣品的表面就被空氣中的碳氫化合物污染。不少樣品自身也會引入碳氫污染。對于高分辨率FE-SEM上的低著陸能量高分辨率二次電子模式成像,二次電子主要來自很淺的表層。如果樣品表面被一層碳氫化合物污染,則電子信號大部分從污染層中出來。因此,碳氫化合物污染會降低圖像對比度和分辨率。


    在材料測試前,我們需要預清洗SEM和TEM上的碳氫污染物,以確保其準確度。可使用Tergeo-EM臺式等離子清洗機預清潔SEM和TEM。可使用空氣,Ar, O2或H2氣體以及不同比例的混合氣體在Tergeo-EM等離子體清洗機中產生等離子體,自由基可以有效地去除樣品表面上的碳氫化合物污染物。Tergeo-EM等離子清洗機可將浸沒模式等離子體清潔(樣品浸沒在等離子體中)和下游模式等離子體清潔(樣品放置在等離子體外)集成在一個系統中的TEM / SEM等離子清洗機 。Tergeo-EM等離子清洗機可滿足從高速光阻膠灰化到柔和地清洗石墨烯、碳納米管、DLC(類金剛石碳)、碳纖維、碳網、多孔TEM樣品,以及其他超薄涂層的樣品清洗。此外,*的脈沖模式可產生極短的等離子體脈沖,為精細樣品進一步降低等離子體強度。等離子傳感器技術可實時監測等離子體強度。它可以幫助用戶為不同類型的樣品設置正確的清潔配方。


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