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    AZ1500系列G線光刻膠

    簡要描述:AZ1500系列G線光刻膠高感光度標(biāo)準(zhǔn)G線正型光刻膠
    為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠
    特征:
    1) 高感光度,高產(chǎn)出率
    2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)
    3) 廣泛應(yīng)用于*半導(dǎo)體行業(yè)

    • 產(chǎn)品型號:AZ1500(20cp)
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2025-08-04
    • 訪  問  量:117

    詳細(xì)介紹

    高感光度標(biāo)準(zhǔn)G線正型光刻膠

    AZ1500系列G線光刻膠

    為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠

    特征:

    1) 高感光度,高產(chǎn)出率

    2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)

    3) 廣泛應(yīng)用于*半導(dǎo)體行業(yè)

    AZ1500系列G線光刻膠參考工藝條件:

    前烘 :100℃ 60 (DHP)

    曝光 :G線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī)

    顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60 Puddle

    清洗 :去離子水30

    后烘 :120℃ 120 (DHP)

    剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

    產(chǎn)品型號:AZ1500

    Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa

    AZ1500系列G線光刻膠 旋涂曲線:

    AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓:




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