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    TC-Wafer校準儀

    簡要描述:TC-Wafer校準儀是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器,適配市場上大多數主流廠家生產的RTP設備。

    • 產品型號:TC-20
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-07-02
    • 訪  問  量:838

    詳細介紹

     TC-Wafer校準儀,是一款專注晶圓溫場均勻性測量的儀器。

    適配市場上大多數主流廠家生產的RTP設備。
    特殊情況可定制以適配。
     產品特點(部分)
    1.測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內、采集周期為200ms,能準確測量晶圓溫廠均勻性;
    2.使用便捷 儀器集成度高,即插即用。測試記錄完整數 據,并能自動生成測試報告,
    支持U盤、藍牙、無線網 絡等多種方式導出數據和報告;
    3.顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制),顯示實時點位圖及溫度分布圖,
    可在使用過程中實時觀察各點溫度變化;
    4.功能強大 10000條歷史數據存儲量,能以圖表形式調閱歷史溫度和均勻性數據。
    可做同一臺設備不同時間段、以及不同設備同一配方的數據對比;
    5.便攜易維護 便攜一體化設計,配備磁吸支架可貼靠于RTP表面, Type-C接口
    65W速充,可迅速更換TC- wafer。
     TC-Wafer校準儀應用功能:
    1.半導體制造工藝調校
    2.RTP設備的測試、驗證
    3.TC-Wafer的測試、驗證
    4.相 關 晶 圓 熱 處 理 設 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
    CVD,PVD,Photo,等等;

    5.使用范圍:室溫~ 1200℃(更高溫可定制)

     

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