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    RTP-3系列快速退火爐

    簡要描述:RTP-3系列快速退火爐,采用紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現對實驗材料的快速升溫和降溫

    • 產品型號:RTP-3S01
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-06-06
    • 訪  問  量:1060

    詳細介紹

    快速退火爐(RTP,Rapid Thermal Processing)系列產品,采用紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現對實驗材料的快速升溫和降溫,同時搭配超高精度的溫度控制系統,可達到很好的溫場均勻性,對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。

    RTP-3系列快速退火爐主要分為RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分別能處理 1-12 寸樣本。

    應用功能
    快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)
    -離子注入/接觸退火
    -SiAu、SiAL、SiMo合金化
    -太陽能電池片鍵合
    -電阻燒結
    -低介電材料熱處理
    -晶體化、致密化
    -材料制備
    提供可控壓力環境并實現以上應用提供Vac、lG、02、Gas mixture等氣氛環境

        RTP-3系列快速退火爐采用紅外輻射加熱及冷壁技術,可實現實驗樣品的快速升溫和降溫,完成特定條件下的熱處理工藝。
    支持多種配置選擇,如可選擇 SECS/GEM、1-4路氣氛、自動開關門、燈光分區控制、PID 自動配置等:可實現爐壁溫度監視、水冷異常監視、真空度監視、腔體壓力監視等:
    豐富的附件選擇:碳化硅石墨托盤、石英樣品托架、紅外加熱燈管、石英腔體 /板、TC-Wafer 校準儀等

     

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