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    Micro Resist電子束及深紫外光刻膠

    簡要描述:德國Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。

    • 產(chǎn)品型號:ma-N 2400、mr-EBL
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2025-07-01
    • 訪  問  量:3513

    詳細介紹

    德國Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。

    ma-N 2400系列   

    電子束和深紫外曝光 

    電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;優(yōu)異的圖案分辨率-50 nm以下;堿性水溶液下顯影;

    mr-EBL 6000

    電子束曝光

    電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;光膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;優(yōu)異的圖案分辨率-80 nm以下;堿性水溶液下顯;

     

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