MicroXact高精度半自動化探針臺

簡要描述：SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺，設(shè)計靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。

產(chǎn)品型號：SPS-HP系列
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-06-05
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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺，設(shè)計靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。

型號	SPS-12000-HP	SPS-2800-HP	SPS-2600-HP
晶圓尺寸	高達300mm	高達200mm	高達100mm
電機類型	步進電機
XY舞臺行程	高達300mmx300mm	高達200mmx200mm	高達100mmx100mm
饋通終端	BNC，Triax或香蕉插頭
系統(tǒng)尺寸	101CM寬x91CM深x 88CM高	122CM寬x122CM深x 92CM高	78CM寬x80CM深x 58CM高

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