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MicroXact標準半自動探針臺

簡要描述：MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標準或數字顯微鏡以及可編程平臺分度，為您的所有高效設備表征提供經濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇（標準，高精度和高速）。

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詳細介紹

XY平臺和壓板的精密電機控制。還可提供額外的預載滑塊，以便于裝載和卸載晶圓或樣品。

光滑的粉末涂層鋼板可容納多達10個磁性或真空定位器。

通過位于站兩側的終端隔離饋通，可以方便地連接微定位器，可以為BNC，Triax或Banana插頭連接進行定制。

標準吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。

可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF偏置卡盤和屏蔽罩。

高分辨率復合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調節真空吸盤。

超*真空泵。

標準半自動化系統

電動XY夾頭，SPS-2600中的電動壓板，SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動，標準配置。Motorized theta是一種選擇。

基于步進電機，無編碼器。

成本競爭力

強烈推薦用于需要低于0°C的測試或屏蔽的應用

可用選項：加熱或冷卻卡盤，變焦鏡或復合顯微鏡，各種屏蔽，用于直流和射頻測量的卡盤選擇等等

型號	SPS-2800	SPS-2600
晶圓尺寸	高達200mm	高達100mm
電機類型	步進電機
XY舞臺行程	高達200mmx200mm	高達125mmx125mm
XY舞臺分辨率	電動，6.5μm重復性
顯微鏡	高品質立體聲變焦，工作距離可達200??mm，放大倍率范圍為3.5X至180X
饋通終端	BNC，Triax或香蕉插頭
系統尺寸	122厘米寬x122厘米深x 92厘米高		78厘米寬x80厘米深x 58厘米高

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