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    Microchem SU-8 2000 系列

    簡要描述:SU-8 2000化學放大,i線抗蝕劑非常適合制造 permanent性器件結構。 這些負色調,環氧基抗蝕劑表現出優異的耐化學性和低的楊氏模量,使其成為制造微/納米結構的理想選擇,如懸臂,膜和微通道。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-16
    • 訪  問  量:2354

    詳細介紹

    MicroChem環氧樹脂抗蝕劑由化學放大的環氧基負性抗蝕劑組成,它們具有高度功能性,光學透明性和可接近UV(365nm)輻射的可成像。固化膜或微結構是對溶劑非常抵扣的,酸和堿以及具有優異的熱穩定性和機械穩定性,使其非常適合制造permanent結構,如像素墻,流體通道和噴嘴,微陣列和間隔物。

    材料的使用:

    • PDMS模具制造
    • 結構部件,如微流體通道,顯示像素陣列,墻壁和介電層
    • 干蝕刻掩膜
    • 快速成型

    材料屬性:

    • 旋涂薄膜從< 1µm>75µM
    • 耐高溫和耐化學性好
    • 光學透明
    • 兼容i-Line成像設備

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

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