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原子層沉積系統
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Plasmionique支持 CVD / ALD / PECVD / RIE ,加拿大進口桌面式設備,模塊化設計,可支持ALD原子層沉積,CVD化學氣相沉積,PECVD??等離子體增強化學氣相沉積和RIE??反應離子刻蝕。
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