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    當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  勻膠機(jī)/勻膠旋涂儀  >  650系列  >  WS-650HZ-23NPPBLaurell勻膠機(jī)650-23NPPB

    Laurell勻膠機(jī)650-23NPPB

    簡要描述:Laurell勻膠機(jī)650-23NPPB系列特色:
    ◆ 科研制備理想的勻膠機(jī);
    ◆ 勻膠機(jī)由NPP或Teflon材質(zhì)構(gòu)造;
    ◆ 勻膠機(jī)分為150毫米,200毫米和300毫米三種腔體大小;
    ◆ 勻膠機(jī)可選擇臺(tái)式,立式和特殊環(huán)境內(nèi)置式不同外形;
    ◆ 勻膠機(jī)的Z大轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM;
    ◆ 易編程的數(shù)碼控制器(400/500型控制器);
    ◆ 可升級成為自動(dòng)滴膠型勻膠機(jī);

    • 產(chǎn)品型號:WS-650HZ-23NPPB
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2024-05-16
    • 訪  問  量:2936

    詳細(xì)介紹

    Laurell勻膠機(jī)650-23NPPB系列(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
    詳細(xì)介紹:勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
    行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái)、勻膠機(jī)、旋涂儀、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)

    Laurell勻膠機(jī)650-23NPPB適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性,這正是650S 型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。

    二、勻膠機(jī)工作原理:

    勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

    三、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo):
    1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
    2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);
    3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm,
    4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec;
    5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;
    6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<1rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;
    7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
    8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
    9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
    10、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
    11、分辨率:分辨率小于1轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±1轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!]
    12、配套真空泵系統(tǒng):無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
    13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
    14、*水平測試儀;

    可選配置:
    IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制;
    OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制;
    UD自動(dòng)滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,
    EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機(jī)械裝置;


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