詳細介紹
光刻材料(如光刻膠和顯影液)的表面張力對光刻工藝本身具有重要影響。例如,旋涂均勻性、平面化和附著力直接取決于材料的表面張力。同樣,涂層的表面自由能(SFE)也與此密切相關。
通過接觸角測量,可以研究半導體技術中使用的基板和涂層的表面自由能(SFE)。測量接觸角能夠幫助您快速優化新工藝步驟,并更好地標準化現有工藝。晶圓表面性質的微小變化會表現為接觸角的顯著且易于檢測的改變。投入少量時間測量接觸角,可以通過避免后續生產問題獲得回報。為了降低缺陷密度并實現光刻膠結構的微小特征尺寸(<1μm),良好的光刻膠附著力至關重要。借助接觸角測量,您可以輕松控制附著力。
德國進口接觸角測量儀SURFTENS HL 200 的特點
接觸角測量系統 SURFTENS HL 200 專為半導體行業和研究設計,尤其適用于硅晶圓表面處理的工藝控制。它是研究晶圓接觸角和潤濕性的理想工具。SURFTENS HL 200 能夠滿足對硅晶圓潤濕性快速、高精度且便捷的測量需求。
SURFTENS HL 200 的突出特性包括:
• 緊湊省空間、封閉式機械基礎結構
• 高質量固定焦距測量物鏡
• USB攝像頭
• 所有組件集成于封閉外殼內,防止錯位
• 可調均勻高亮LED照明
• 特氟龍涂層晶圓臺(直徑200mm)
• 晶圓臺手動x軸和φ軸定位
• 支持真空鑷子放置晶圓
• 晶圓臺行程:100mm
• 晶圓臺旋轉角度:360°
此結構可測量晶圓表面任意點。晶圓臺的手動x軸和φ軸配備刻度,便于定位到指定位置。
滴液系統調節功能:
• 手動z軸調節針頭高度
• 手動y軸調節針頭居中
• 手動x軸調節針頭對焦
滴液系統配置選項:
• 1套手動直滴系統
• 2套手動直滴系統
• 1套軟件控制自動直滴系統
• 2套軟件控制自動直滴系統
• 1套手動+1套自動直滴系統組合
自動測量功能實現最高精度
通過手動或自動直滴系統生成測試液滴(通常為去離子水)。液滴圖像以高清實時視頻形式立即呈現在電腦屏幕上,單次按鍵即可啟動測量。軟件自動計算接觸角,并同步顯示圖形化結果與數值數據。僅需1秒的快速測量可避免誤差。德國進口接觸角測量儀SURFTENS HL 200 將高重復性、測量精度與操作便捷性結合。
技術參數
滴液系統
最小液滴體積:0.2μl
滴液分辨率/精度:0.1μl(水)
注射器:玻璃或一次性魯爾鎖注射器
接觸角測量精度
分辨率:0.01°
重復性:±0.1°(實時視頻)
精度:±0.1°
軟件
操作系統:Windows
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