狹縫涂布儀
ossila狹縫涂布機結構緊湊，價格實惠，使用簡單。體積小巧，但外殼堅固，系統
精確度高 - 對于那些希望在小型實驗室中擴大其加工技術的人來說，它是好
的選擇。
狹縫涂布系統為您的研究提供以下益處：
•不銹鋼槽模頭為您提供均勻的分配解決方案
•內置便捷的操作軟件 - 該系統擁有自己的獨立數字控制系統，因此您無需將其
連接至外部計算機
•可互換的墊片 - 通道厚度可變，通用性更高
•內置注射泵 - 因此您可以同步開始時間，不需要單獨接外部注射泵
•在加熱階段，溫度可控制在 140°C - 更好地使溶液潤濕
•行程距離可達 15 厘米
•速度從 50μm/s 到 75mm/s 的電動操作臺 - 為控制彎月面提供了一個寬廣的加
工窗口
•操作臺調平，數字式高度測量計可以精確到 1um
•三點校平系統精確對準
•千分尺用于精確定位相對于基材位置的頭部
與卷對卷和片對片沉積工藝相兼容，狹縫涂布是用于可擴展沉積薄膜的技術
之一。其廣泛的加工窗口確保穩定、無缺陷的沉積，適用于各種粘度的溶液。薄
膜均勻度高，準確且可重復，厚度可通過改變流速和基材速度來控制。
特征
節省空間的設計 - 考慮到實驗室空間的設計，我們的緊湊型桌面設計使設備可
放置在標準實驗臺，通風櫥，甚至手套箱內。
輕松設置 - 即插即用。不需要壓縮氣體或真空管線，可以輕松地在不同的實驗
室和不同的環境之間移動。
高交叉網均勻性 - 通過使用簡單的衣架設計來分配溶液，橫跨頭寬，流速均勻。
這樣可獲得高度均勻的涂層，適用于各種粘度的溶劑。不銹鋼槽模頭可與廣泛的
材料兼容。
通道厚度可變 - 可互換的不銹鋼墊片可以更改槽模通道的厚度。通過插入多個
墊片，以 100μm 的間隔增加通道厚度。
均勻的流量和厚度 - 我們的槽模系統配有內置注射泵。用戶可精確控制進入狹
縫模頭系統的溶液量，從而能精確和可重復地控制沉積膜的厚度。內置注射泵由
相同的內部軟件控制，因此不需要任何外部控制 - 您可以為實驗設定同步啟動
時間。
溫度控制 – 操作臺上的內置熱板可以將基板溫度控制在最高溫 140°C。另外，
軟件中可以設置溫度偏移量以適應高氣流環境，校正基板和熱板溫度之間的差異。
通過降低表面張力控制基材溫度可改善溶液的潤濕性，同時干燥速率也可以改變
沉積膜的納米結構。
基板速度范圍廣 - 我們的操作平臺可實現平穩，連續的移動。電機能以低至
50μm/s 的速度移動到高達 75mm/s 的速度，該系統擁有控制彎月面的寬加工窗
口。
精確校準 - 通過使用三點校平系統和高精度千分尺，可以精確校準操作臺頭部。
仔細對準使系統在操作臺行程長度上實現低至 1um / cm 的高度變化。
頭部高度控制 -通過調整狹縫模頭的高度，可以改善彎月面的穩定性，改變最小
濕膜厚度。
內置軟件
狹縫涂布機內置系統軟件。高清全彩色 LCD 液晶顯示屏，內置軟件可編程復雜的
多步驟過程，其中系統的不同部分可以獨立控制。由于所有元素都包含在系統中，
因此不需要任何外部計算機控制 - 進一步節省實驗室中的資金和空間。
系統能夠保存 20 個不同的程序，每個程序最多包含 50 個步驟。用戶可選擇各種
溶液分配速度，分配量，分配時間，階段速度和移動的距離。結合簡單易用的控
制面板和用戶界面，系統編程可以快速完成。
應用
到目前為止，夾縫涂布機的應用有很多，其中包括：
•有機光伏
•有機場效應晶體管
•導電聚合物
•納米線
•納米管
•2D 材料
•有機發光二極管
•鈣鈦礦光伏
•鈣鈦礦發光二極管
•染料敏化太陽能電池
還有很多...
產品規格
卷對卷兼容 - ossila狹縫涂布機是可以并入卷對卷和片對片的沉積系統的許多沉積方法
之一。這些優點是當將沉積系統結合到在線工藝中時可以提高產量。通過提高產
量，薄膜電子器件的整體生產成本將大幅降低。
可靠和簡單 - 狹縫涂布是制造薄濕膜可靠的技術之一，并且能夠生產多米范
圍內變化小于 2％的涂層。厚度控制僅由溶液流速和基材速度決定，而涂層缺陷
的存在可通過改變幾個幾何參數來消除（不會改變涂層厚度）。
研究中的應用 - 雖然狹縫涂布技術是一種非常強大的技術，但由于它主要是工
業技術，因此它在薄膜電子學研究和開發中的應用受到限制。因此，即使是簡
單的系統價格也很高，因為制造商迎合行業而不是學術界。而且，這些系統通常
比剛開始開發沉積薄膜所需的加工技術的研究人員所需要的更大和更復雜。借助
Ossila 緊湊型槽模涂布機，研究人員可以在實驗室中使用槽模涂布機，從而優化
油墨配方和工藝參數，而無需進行大量印刷。最終，這有助于研究人員確保他們
的發現可以擴大實際應用。
控制薄膜厚度 - 由于狹縫涂布是一種預先計量的涂布技術，所沉積的濕膜厚度
僅取決于溶液流速，基材速度和涂布寬度。當考慮溶液濃度和材料密度時，可以
確定干膜厚度，這在下面的公式中給出。
控制槽模涂層厚度的等式，其中 d 是涂層厚度[cm]，f 是流速[cm 3 / min]，v 是涂
層速度[cm /
min]，w 是涂層寬度[cm] ，c 是墨水濃度[g / cm 3 ]，ρ是干燥膜的密度[g / cm 3 ]。
無缺陷涂層 - 槽模涂層依賴于形成穩定的涂層珠粒。該焊道由上游和下游彎液
面組成，需要將其固定在狹槽模頭的凸緣上。通過平衡來自狹縫模頭的流體與襯
底表面上的粘性流動之間的平衡，該珠粒可以被穩定。可以改變各種參數以改變
這兩種競爭的流動 - 這包括溶液流速，襯底速度，頭部高度，溶液潤濕和槽模
頭部通道厚度。這樣可以有多種方法將涂層加工成穩定的涂層窗口，以獲得無缺
陷的薄膜。
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