德國(guó)osiris勻膠機(jī)：SPIN COATING

簡(jiǎn)要描述：德國(guó)osiris勻膠機(jī)：SPIN COATING，應(yīng)用于勻膠工藝的設(shè)備，具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術(shù)和可選的烘烤熱板，適用于實(shí)驗(yàn)室開展科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)和企業(yè)小批量多品種生產(chǎn)。設(shè)備具有多選項(xiàng)（例如可編程滴膠臂）并且可以升級(jí)成自動(dòng)化的系統(tǒng)達(dá)到更高的片到片工藝重復(fù)性。

產(chǎn)品型號(hào)：UNIXX-SERIES
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-05-17
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勻膠機(jī)/勻膠旋涂?jī)x

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詳細(xì)介紹

Osiris勻膠機(jī)

用于處理單晶圓的系統(tǒng)，具有用于半導(dǎo)體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項(xiàng)。

旋涂機(jī) - CCP

設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用：

帶蓋卡盤處理器（CCP）的旋轉(zhuǎn)涂層

1.UNIXX S760+

（21x21 英寸）獨(dú)立系統(tǒng)

用于大型基材的旋涂機(jī)。

2.UNIXX SA30+

（?300毫米）獨(dú)立系統(tǒng)

帶蓋卡盤旋涂機(jī)。（單底座）

3. UNIXX SHp22+

（直徑200mm）獨(dú)立系統(tǒng)

有蓋卡盤旋涂機(jī)和加熱板模塊。

旋涂機(jī) - 開式轉(zhuǎn)鼓

設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用：

帶開口碗的旋轉(zhuǎn)涂層，用于標(biāo)準(zhǔn)涂層。

1.UNIXX SA30

（?300毫米）獨(dú)立系統(tǒng)

開式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機(jī)。（單底座）

2. UNIXX SHe22

（直徑200mm）獨(dú)立系統(tǒng)

開碗旋涂機(jī)和加熱板模塊。

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