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    德國(guó)osiris勻膠機(jī):SPIN COATING

    簡(jiǎn)要描述:德國(guó)osiris勻膠機(jī):SPIN COATING,應(yīng)用于勻膠工藝的設(shè)備,具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術(shù)和可選的烘烤熱板,適用于實(shí)驗(yàn)室開(kāi)展科學(xué)研究、技術(shù)開(kāi)發(fā)和企業(yè)小批量多品種生產(chǎn)。設(shè)備具有多選項(xiàng)(例如可編程滴膠臂)并且可以升級(jí)成自動(dòng)化的系統(tǒng)達(dá)到更高的片到片工藝重復(fù)性。

    • 產(chǎn)品型號(hào):UNIXX-SERIES
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2024-05-17
    • 訪  問(wèn)  量:1077

    詳細(xì)介紹

    Osiris勻膠機(jī)

    用于處理單晶圓的系統(tǒng),具有用于半導(dǎo)體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項(xiàng)。


    旋涂機(jī) - CCP

    設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用:

    帶蓋卡盤處理器 (CCP) 的旋轉(zhuǎn)涂層


    1.UNIXX S760+

    (21x21 英寸)獨(dú)立系統(tǒng)

    用于大型基材的旋涂機(jī)。


    2.UNIXX SA30+

    (?300毫米)獨(dú)立系統(tǒng)

    帶蓋卡盤旋涂機(jī)。(單底座)


    3. UNIXX SHp22+

    (直徑200mm)獨(dú)立系統(tǒng)

    有蓋卡盤旋涂機(jī)和加熱板模塊。


    旋涂機(jī) - 開(kāi)式轉(zhuǎn)鼓

    設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用:

    帶開(kāi)口碗的旋轉(zhuǎn)涂層,用于標(biāo)準(zhǔn)涂層。


    1.UNIXX SA30

    (?300毫米)獨(dú)立系統(tǒng)

    開(kāi)式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機(jī)。(單底座)


    2. UNIXX SHe22

    (直徑200mm)獨(dú)立系統(tǒng)

    開(kāi)碗旋涂機(jī)和加熱板模塊。






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