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詳細介紹
射頻真空等離子表面處理系統
等離子清洗機是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設備，利用真空環境產生等離子體去處理樣品的表面，達到常規清洗方法無法達到的效果。具有設備小巧，真空腔容量大，適用于實驗室環境；清洗過程不會產生高溫，避免產品產生熱變形；可以處理各種各樣的材質，如金屬、半導體、氧化物或高分子材料，應用廣泛。
射頻真空等離子表面處理系統 特點：
u 滿足8寸以下基片使用，適用性廣
u 無環境污染、無化學品消耗、機臺本身不產生污染物
u 高效清洗，快遞達成需要的表面親水性
應用廣泛，且對處理產品無損傷，不改變材料特性
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