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    勻膠涂膜機ST20+

    簡要描述:勻膠涂膜機ST20+ 實驗室臺式勻膠機
    是一款緊湊的旋涂,顯影,清潔和干燥半自動系統,旨在為科學和研究領域的用戶提供高效,安全和清潔的實驗室系統。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理,例如編寫,編輯,保存和加載。 服務區提供用于手臂和旋轉板以及介質控制的設置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。

    • 產品型號:BASIXX ST20+
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-17
    • 訪  問  量:2118

    詳細介紹

    勻膠涂膜機ST20+特點:

    ÷ 直驅無刷微調電機

    ÷ 全軸電機驅動且*可編程

    ÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制

    ÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

    ÷ 旋轉器蓋傳感器控制

    ÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序

    ÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼

    ÷ 外殼上的電源開關ON / OFF

    ÷ 配備標準的水坑噴通過水坑噴嘴注入溶劑

    ÷ 可拆卸處理碗和飛濺環,便于清潔

    ÷ 可處理圓形晶片尺寸Ø200mm(Ø8英寸)

    ÷ 可處理方形基板尺寸大為150 x 150毫米(6 x 6英寸)

    ÷ 標配多安裝3個介質管線/噴嘴(可選:多5個介質管線/噴嘴)

     

    ÷ 可視真空控制儀

    ÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統運行來控制

    ÷ 含0.5 Itr廢液瓶

    ÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統的電動介質臂

    ÷ 可作為臺式安裝,也可做獨立裝置使用

    ÷ 簡單且經濟高效

    ÷ 專為研究所,實驗室和基礎研發而設計

     

    應用:旋涂,顯影,清潔和干燥

     

    勻膠涂膜機ST20+產品參數:

    可處理襯底尺寸:直徑大為Ø200mm(Ø8英寸)圓片,或大為150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片

    旋轉速度:10,000rpm *,(rpm步長為單位);

    加速度:4.000 rpm / sec *;

    處理時間:1至999,9sec,以0.1秒為步;

    處理碗:可更換,聚丙烯(PP)材質

    腔體:白色(PP)材質

    固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;

    電源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz

    真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直徑6 mm

    排氣-過程:1x外徑38毫米,約 30立方米/小時

    氮氣(可選):4土0.2 bar,PFA管外徑6 mm

    CDA(可選):8土2bar,管外徑8mm。

     

    選配

    適用各種尺寸大小的托盤

    分配臂

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