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    射頻等離子體蝕刻機

    簡要描述:射頻等離子體蝕刻機Quorum K1050X可以用于使用反應氣體(例如CF 4) 去除硅層,以及用于使用氧氣去除光刻膠。 等離子灰化是指使用氧氣或空氣對有機材料進行可控的低溫去除,其廣泛應用于研究和質量控制領域。RF等離子還可用于塑料和聚合物的表面改性-以及清潔TEM和SEM樣品以及樣品支架。

    • 產品型號:K1050X
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-17
    • 訪  問  量:2598

    詳細介紹

    射頻等離子體蝕刻機簡介
    Quorum K1050X RF等離子桶式反應器設計用于等離子蝕刻,等離子灰化和等離子清潔應用。
    射頻等離子體可對各種樣品和基板進行低溫修飾。等離子體蝕刻通常僅限于半導體行業,因為Quorum K1050X可以用于使用反應氣體(例如CF 4 去除硅層,以及用于使用氧氣去除光刻膠。 
    等離子灰化是指使用氧氣或空氣對有機材料進行可控的低溫去除,其廣泛應用于研究和質量控制領域。RF等離子還可用于塑料和聚合物的表面改性-以及清潔TEMSEM樣品以及樣品支架。
    K1050X是一款現代的固態RF等離子桶式反應器,旨在滿足廣泛多樣的等離子蝕刻,等離子灰化和等離子清洗應用的研發和小批量生產的需求。
    等離子刻蝕機
    主要特征

    • 用于RF等離子蝕刻,灰化和清潔工藝
    • 抽屜式樣品臺-輕松便捷地取放樣品
    • 微控制器:操作員*可編程-操作簡便,靈活
    • 全自動操作
    • 現代固態100 W 13.56 MHz射頻電源-堅固可靠
    • 兩個氣體流量計-允許準確控制和混合工藝氣體,特別適用于等離子蝕刻工藝
    • 通風孔控制-*小的樣品干擾-特別適用于精細的等離子體灰化樣品
    • 提供渦輪分子泵送版本(K1050XT

    射頻等離子體蝕刻機產品描述

    K1050X RF等離子桶式反應器經過精心設計,可以承受大量使用-每天24小時處理某些等離子灰化計劃-具有微處理器控制和自動操作功能,并具有耐用性和操作簡便性。各向同性(各個方向)的桶式系統等離子刻蝕或等離子灰化,適用于廣泛的應用。

    K1050X使用低壓射頻感應產生的氣體放電來以柔和,可控的方式修飾樣品表面或去除樣品材料。與替代方法相比的一個顯著優勢是等離子蝕刻和灰化過程是干燥的(不需要濕化學藥品),并且在相對較低的溫度下進行。

    使用多種工藝氣體,可以使用多種表面改性方法。使用氧氣(或空氣)作為工藝氣體,分子分解為化學活性原子和分子,并且所產生的燃燒產物可通過真空系統方便地在氣流中帶走。

    腔室,樣品處理和氣體控制

    K1050X的直徑為110毫米x 160毫米的硼硅酸鹽玻璃室水平安裝,帶有滑出式樣品抽屜和觀察窗。通過可選的50 L / m機械旋轉真空泵可以抽空腔室。反應性氣體的進入由兩個內置電磁流量計控制的內置流量計控制。
    注意:對于需要避免使用硼硅酸鹽玻璃的等離子蝕刻應用,K1050X可以配備可選的石英腔(EK4222)。

    功率,調諧和真空監控

    可提供在13.56 MHz時高達100 WRF功率,可以無限地控制RF功率并將其預設為所需值。自動調整正向和反射功率是標準配置,并顯示在數字顯示屏上。

    自動化微處理器控制

    K1050X是全自動的。時間,功率和真空度的控制參數易于預設,并且可以在整個過程中進行監視和調整。
     

    射頻功率的自動調諧以實現*佳控制和重現性

    等離子過程中,自動調諧功能可確保RF功率自動與系統或負載的任何變化進行阻抗匹配。這意味著將腔室內的RFplasma條件保持在*佳狀態-這很重要,因為它可以加快反應時間,提高結果的可重復性,并在RF周期內保護電源。

    抽水選項

    K1050X僅需要添加的旋轉泵。出于安全原因,當等離子蝕刻應用涉及使用氧氣作為工藝氣體時,出于安全原因,強烈建議使用Edwards RV3 Fomblinized旋轉泵(參見  EK3176)。在需要避免使用油基旋轉泵的地方,可以選擇干式抽氣(請參閱:訂購信息)。

    內置渦輪分子泵浦的K1050XT RF等離子蝕刻機/灰砂機/清潔器

    對于需要更清潔真空環境的等離子蝕刻和等離子清潔應用,K1050XT具有內置的渦輪分子泵
     
    射頻等離子體的應用
    等離子蝕刻,等離子灰化和等離子清潔應用多種多樣-以下是一些示例:

    • 使用等離子灰化制備技術  檢測石棉和人造礦物纖維及石棉
    • 光刻膠和外延層的等離子蝕刻(去除)
    • 有機材料(例如環氧樹脂,過濾器,食品等)的低溫等離子灰化
    • 塑料的表面處理,實現了從疏水到親水的轉化
    • 我改善了塑料的油漆和上墨特性
    • 用于SEMTEM檢查的有機樣品的等離子蝕刻和等離子灰化

    SEM,TEMSPM部分Plasma清洗

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