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    AS真空快速退火爐

    簡(jiǎn)要描述:AS真空快速退火爐,性能ZYUE,可搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃,Z快升溫速率200℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準(zhǔn)確。

    • 產(chǎn)品型號(hào):AS-One
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2024-05-17
    • 訪  問  量:2216

    詳細(xì)介紹

    AS-One真空快速退火爐,性能ZYUE可搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。Z高溫度1500 ℃,Z快升溫速率200/Second全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準(zhǔn)確。

     

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    1 紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷(低噪音水平,無(wú)需壓縮空氣);

    2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果;

    3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計(jì),雙層不銹鋼;

    冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于:1、無(wú)記憶,2、工藝重復(fù)性高,3、冷卻速度快;

    4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì),氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面,避免在退火過程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性;

    5、快速數(shù)字PID控溫;

    6、熱電偶配合高溫計(jì)控溫,測(cè)試樣品的溫度,控溫JIN準(zhǔn);

    7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;

    8、多5路工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器;

    9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度;

    10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì),用于小樣品測(cè)試;

    11、可選配分子泵,用于高真空測(cè)試;

     

    產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù):

    1、樣品Z大尺寸:AS-One1004-inchAS-One150 6-inch

    2、紅外鹵素?zé)簦?/span>AS-One100 12支; Z大功率:30KW

                              AS-One150 18支; Z大功率:34KW

    3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式:風(fēng)冷;

    4、溫度范圍:AS-One100室溫~1250 ℃;(室溫~1500 ℃可選)

                           AS-One150室溫~1200 ℃;(室溫~1300 ℃可選)

    5、升溫速率:AS-One100 0.1 ~250 /s

                           AS-One150 0.1 ~200 /s

    6、溫度控制:快速數(shù)字PID控制;

    7、熱電偶:2個(gè)K型熱電偶;(安裝中心和邊緣)

    8、進(jìn)氣口:位于石英窗下;

    9、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(jì):壓力:2bars,多可配置5路; 

    10、配置真空泵及真空規(guī):真空度:10e-3 Torr;(分子泵選配10e-6 Torr

    11、尺寸:AS-One100510*800*1425mm (W*D*H)

                      AS-One150510*800*1425mm (W*D*H)

           重量:AS-One100194Kg

                     AS-One150:凈重240Kg

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