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    真空快速退火爐

    簡(jiǎn)要描述:AS-Micro真空快速退火爐,性能,可搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。zui高溫度1250 ℃,zui快升溫速率250℃/Second。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過(guò)沖,控溫精度準(zhǔn)確。

    • 產(chǎn)品型號(hào):AS-Micro
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2024-05-17
    • 訪  問(wèn)  量:1885

    詳細(xì)介紹

    AS-Micro真空快速退火爐,性能,可搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。zui高溫度1250 ℃,zui快升溫速率250/Second全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過(guò)沖,控溫精度準(zhǔn)確。

     

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    1 紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷(低噪音水平,無(wú)需壓縮空氣);

    2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問(wèn)題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過(guò)程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果;

    3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計(jì),雙層不銹鋼;

    冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于:1、無(wú)記憶,2、工藝重復(fù)性高,3、冷卻速度快;

    4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì),氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面,避免在退火過(guò)程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過(guò)程中的均溫性;

    5、快速數(shù)字PID控溫;

    6、熱電偶設(shè)計(jì)上采用中間和邊緣安裝模式,測(cè)試的樣品的溫度,控溫精準(zhǔn);

    7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;

    8、zui多3工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器;

    9、電腦通過(guò)以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度;

    10、可選配石墨托盤(pán)表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì),用于小樣品測(cè)試;

    11、可選配分子泵,用于高真空測(cè)試;

    12、可選配雙腔體設(shè)計(jì), 達(dá)到高潔凈工藝,避免交叉污染。

     

    產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù):

    1、樣品大尺寸:3-inch

    2、紅外鹵素?zé)簦?/span>6支; 大功率:15KW

    3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式:風(fēng)冷;

    4、溫度范圍:室溫~1250 ℃;

    5、升溫速率:0.1 ~250 /s

    6、溫度控制:快速數(shù)字PID控制;

    7、熱電偶:2N型熱電偶;

    8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(jì):壓力:2bars,zui多可配置3路; 

    9、配置真空泵及真空規(guī):真空度:10e-3 Torr;(分子泵選配10e-6 Torr

    10、尺寸:700*700*750mm (W*D*H) 重量:凈重82Kg

     

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