SSI快速退火爐

簡要描述：SSI快速退火爐系統(tǒng)是一個(gè)簡單穩(wěn)定的熱處理系統(tǒng)，適合于廣泛大尺寸為直徑2~8英寸的基片材料和結(jié)構(gòu)的快速熱低溫退火（RTA），（如電子級(jí)硅、鋼鐵、玻璃、單晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、鍺、超導(dǎo)體、陶瓷等等）。

產(chǎn)品型號(hào)：Solaris 100 /150/200
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-07-01
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快速退火爐

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詳細(xì)介紹

美國RTP系列的快速退火爐溫度均勻度≤1%，處理的大尺寸可以達(dá)到200mm，溫度可以達(dá)到1200攝氏度，處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行，做多可支持4~6路進(jìn)氣，可以用到的氣體包含N2，O2，N2H2，Ar和H2。

基于PID處理控制器的Solaris GUI可以存儲(chǔ)程序，每套程序可以支持高達(dá)100個(gè)步驟的設(shè)定，帶USB2.0的接口。包含Solaris GUI 軟件，與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件，通過鏈接電腦可以非常方便地實(shí)現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄。

技術(shù)規(guī)格：

- 溫度：1200攝氏度；

- 升溫速率：150攝氏度/秒；

- 溫控均勻性：±2.5℃設(shè)定溫度；

- 加熱方式：紅外鹵素?zé)簦敳考暗撞繀^(qū)域加熱；

- 處理時(shí)間：0.1秒至無*；

- 燈管數(shù)量及功率：13支，

- 腔體冷卻：風(fēng)冷方式；

- 襯底冷卻：氮?dú)獯祾撸?/span>

- 工藝氣路：MFC控制，多6路 (氮?dú)狻鍤狻⒀鯕狻涞旌蠚獾?/span>)；

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