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    當前位置:首頁   >  產品中心  >  快速退火爐  >  SSI系列  >  Solaris 100 /150/200SSI快速退火爐

    SSI快速退火爐

    簡要描述:SSI快速退火爐系統是一個簡單穩定的熱處理系統,適合于廣泛大尺寸為直徑2~8英寸的基片材料和結構的快速熱低溫退火(RTA),(如電子級硅、鋼鐵、玻璃、單晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、鍺、超導體、陶瓷等等)。

    • 產品型號:Solaris 100 /150/200
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-17
    • 訪  問  量:1813

    詳細介紹

    美國RTP系列的快速退火爐溫度均勻度≤1%,處理的大尺寸可以達到200mm,溫度可以達到1200攝氏度,處理過程可以在真空環境或者惰性氣體的環境中執行,做多可支持4~6路進氣,可以用到的氣體包含N2O2N2H2ArH2

    基于PID處理控制器的Solaris GUI可以存儲程序,每套程序可以支持高達100個步驟的設定,帶USB2.0的接口。包含Solaris GUI 軟件,與微軟Windows操作系統兼容。通過該軟件,通過鏈接電腦可以非常方便地實現程序編輯以及數據記錄。

     

    技術規格:

    - 溫度:1200攝氏度;

    - 升溫速率:150攝氏度/秒;

    - 溫控均勻性:±2.5℃設定溫度;

    - 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部區域加熱;

    - 處理時間:0.1秒至無*;

    - 燈管數量及功率:13支,

    - 腔體冷卻:風冷方式;

    - 襯底冷卻:氮氣吹掃;

    - 工藝氣路:MFC控制,多6 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等)

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