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    當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  探針臺  >  MicroXact探針臺  >  SPS手動系列MicroXact手動探針臺

    MicroXact手動探針臺

    簡要描述:SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動探針臺,設計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能,DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項,我們的探針臺可用于廣泛的應用,例如故障分析,可靠性測試,IV / CV測試,低目前的測試,微波和射頻表征等等。

    • 產(chǎn)品型號:SPS手動系列
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2025-07-01
    • 訪  問  量:2588

    詳細介紹

    使用MicroXact手動探針臺進行IVCV和低電流測試,可提供半導體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性,晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。

    特征

    手動平臺組裝可提供額外的預載滑塊,便于裝載和卸載晶圓或樣品。

    手動控制壓板和卡盤Z位置,進行粗調(diào)和微調(diào)。

    光滑的鑄鋼壓板可容納多達10個磁性或真空定位器。

    同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。

    標準吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

    可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位

    可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。

    可用的RF選項包括可定制的RF探頭,RF卡盤和屏蔽罩。

    型號

    SPS-1000

    SPS-2000

    SPS-2200

    晶圓尺寸

    高達150mm

    高達100mm

    高達200mm

    XY舞臺行程

    100mmx100mm150mmx150mm標準

    高達125mmx125mm

    高達200mmx200mm

    系統(tǒng)尺寸

     

    56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高

    92米寬x 122厘米深x 92厘米高

    系統(tǒng)重量

     

    35kg45kg,具體取決于所選的選項

    ~70公斤

     

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