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    當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  勻膠機/勻膠旋涂儀  >  SPIN系列  >  POLOS300SPIN-300勻膠旋涂儀

    SPIN-300勻膠旋涂儀

    簡要描述:SPIN-300勻膠旋涂儀(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
    詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
    行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、甩膠機

    • 產(chǎn)品型號:POLOS300
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2024-05-16
    • 訪  問  量:3373

    詳細介紹

    1  勻膠機工作原理:

    SPIN-300勻膠旋涂儀spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

    2、勻膠機型號及技術(shù)參數(shù)如下:

    型號

    SPIN150i

    SPIN200i

    POLOS300

    POLOS450

    POLOS600

    基片范圍

    直徑160mm or 4?方片

    直徑260mm or 6?方片

    直徑360mm or 8?方片

    直徑460mm or 350mm方片

    直徑600mm or 430mm方片

    程序段數(shù)

    無限制

    無限制

    無限制

    無限制

    30個程序

    操作步數(shù)

    無限制

    無限制

    無限制

    無限制

    90個步驟

    旋轉(zhuǎn)速度

    0-12,000 rpm ±1rpm steps

    0-12,000 rpm ±1rpm steps

    0-12,000 rpm ±1rpm steps

    0-1500rpm ±1rpm steps

    0-1,500 rpm ±1rpm steps

    旋轉(zhuǎn)精度

    ±0.1 rpm

    ±0.1 rpm

    ±0.1 rpm

    ±0.1 rpm

    ±0.1 rpm

    旋轉(zhuǎn)方向

    順時針、逆時針、交換擺

    順時針、逆時針、交換擺

    順時針、逆時針、交換擺

    順時針、逆時針、交換擺

    順時針、逆時針

    加速度

    30,000 rpm/sec

    30,000 rpm/sec

    30,000 rpm/sec

    1500rpm時取決于負載

    500 rpm/sec

    旋轉(zhuǎn)時間

    無限制*,± 0.1 seconds steps

    無限制*,± 0.1 seconds steps

    無限制*,± 0.1 seconds steps

    無限制*,± 0.1 seconds steps

    1 to 999 sec/step

    腔體直徑

    202 mm

    302 mm

    402 mm

    502 mm

    642mm

    外形尺寸

    (w*h*d )

    274 x 250 x 451 mm

    380 x 307 x 559mm

    430 x 310 x 650mm

    795 x 638 x 922mm

    800 x 1,450 x 1,650mm

    觸屏控制

    全彩觸屏控制

    全彩觸屏控制

    全彩觸屏控制

    全彩觸屏控制

    全彩觸屏控制

    設(shè)備重量

    14Kg

    20Kg

    32Kg

    75Kg

     

    電源參數(shù)

    220V,50/60 Hz

    220V,50/60 Hz

    220V,50/60 Hz

    220V,50/60 Hz

    220V,50/60 Hz

    三、勻膠機的特點:

    1、該SPIN-300勻膠旋涂儀采用德國*技術(shù):
    2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計,這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
    3、勻膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調(diào)整墊,可保障主軸具有較高的精度。
    4、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
    5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié),與配套真空泵一同使用。

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