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    SPIN德國勻膠機

    簡要描述:SPIN德國勻膠機(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜
    詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
    行業俗稱:勻膠臺、甩膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機

    • 產品型號:SPIN150i
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-05-16
    • 訪  問  量:3184

    詳細介紹

    一、產品概述:
        SPIN德國勻膠機150i型適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的*性和均勻性,這正是SPIN150i型勻膠機的特點。
    二、勻膠機工作原理:
        SPIN德國勻膠機150i型(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
    三、勻膠機主要性能指標:
    1、腔體直徑:8英寸 (202 毫米);
    2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直徑的材料,4英寸方片;
    3、轉速范圍: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
    4、加速度:30000RPM/S;
    5、轉速精度: ±0.1rpm;
    6、程序段數:無限制;
    7、操作步數:無限制;
    8、旋轉時間:無限制*,±0.1 Second steps;
    9、旋轉方向:順時針,逆時針,交換擺動;
    10、擴展接口:1個USB接口;
    11、馬達保護:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可關閉);
    12、排廢連接:1” M-NPT;
    13、觸屏控制:全彩觸摸屏控制界面;

     

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