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通過旋轉涂布在微電子基板上施加光刻膠、抗反射涂層或聚酰亞胺涂層時,常會形成所謂的邊緣凸起。這是涂層材料在基板外緣以凸塊形式的不必要堆積。這些堆積物還可能包裹基板邊緣,從而污染基板背面的邊緣區域。如果晶圓邊緣未被清潔,干燥的顆粒或光刻膠殘留物可能會剝落,導致后續制造和工藝步驟中的顆粒污染等問題。因此,應去除基板外圍區域的多余殘留物。為此目的,有專門的設備可供使用。
德國進口OEG接觸角測量儀SURFTENS 200是專為半導體研發的接觸角測量系統,以±0.1°精度、0.2μl液滴控制及360°晶圓掃描能力,1秒內分析表面潤濕性。緊湊設計集成高精度光學系統,支持自動/手動滴液模式,適配200mm晶圓真空無損檢測,精準優化光刻膠附著力與表面能。
德國進口OEG接觸角測量儀 SURFTENS 200是專為半導體研發的接觸角測量系統,以±0.1°精度、0.2μl液滴控制及360°晶圓掃描能力,1秒內分析表面潤濕性。緊湊設計集成高精度光學系統,支持自動/手動滴液模式,適配200mm晶圓真空無損檢測,精準優化光刻膠附著力與表面能。
德國進口接觸角測量儀SURFTENSHL 200 是一款專為半導體行業及研究設計的接觸角測量系統,專注于硅晶圓表面處理工藝控制。它能高效、精確地測量晶圓的潤濕性和接觸角,幫助優化光刻工藝,提高光刻膠附著力,減少缺陷密度。系統具備緊湊結構、高精度光學元件、可調LED照明及多種滴液系統配置選項,支持手動與自動測量模式,提供高重復性與便捷操作,是提升半導體制造工藝可靠性的理想工具。
我們的接觸角測量儀提供了一種快速,可靠,簡單的方法來測量表面液滴的接觸角。 其優惠的價格,緊湊的尺寸,直觀的PC軟件,便捷的操作,使更多的研究人員能夠快速進行這種多功能測量。